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リターンバック式スパッタリング装置 SPL-342V

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詳細情報

サイドスパッタ
設置寸法
W1300×D2600×1900hmm
電力　3相200V 32KVA（DC電源含む）
アース　C種接地
冷却水（20℃）　24L/min以上
圧縮空気　5kg/cm2
ガス系　
N2 0.2MPa(CPベント用)
N2 0.2MPa(チャンバベント用)
Ar 0.1MPa（スパッタ用）
CO2 0.1MPa(スパッタ用)
N2 0.1MPa(スパッタ用)　

商品情報

リストNO 1800
品名
型式		 リターンバック式スパッタリング装置
SPL-342V
メーカー キヤノントッキ
仕様1 5”×10”×2枚　2種類
プレーナマグネトロンカソード
仕様2
成膜有効範囲　W300×H130
基板加熱　MAX200℃　常用150℃
仕様3 DC電源　出力6kW 400〜1000VDC
仕様4 排気系　CP+RP
製造年 2011年

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