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スパッタ装置 SH-350E

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詳細情報

電気
200VAC 3φ 50/60Hz 約22kVA

圧空
0.6〜0.7MPa(ゲージ圧)若干量

所要ガス量
プロセス用 Ar 50sccm、N2 50sccm、O2 2.0sccm
ベント用 N2 約50L/バッチ
クライオ再生用 N2 約30L/min

冷却水
温度 20〜25℃
供給圧 0.2MPa(ゲージ圧)、背圧0.05MPa(ゲージ圧)以下
本機:24L/min、比抵抗5kΩcm以上

所要寸法重量
本機:900W×1600D×1660Hmm(上昇時2210Hmm) 800kg
操作盤:560W×1000D×1850Hmm 350kg
CPコンプレッサー:332W×543D×590Hmm 61kg

接地工事 A種及びD種

商品情報

リストNO 1788
品名
型式
スパッタ装置
SH-350E
メーカー アルバック
仕様1 スパッタ室 Φ500×220hmm
仕様2
マグネトロンΦ4”×3基 デポアップ 逆スパッタ付
仕様3 DC 2kW RF 0.5kW(逆スパッタ用)
真空計付 基板回転 基板加熱300℃
仕様4 CP 6” RP 309/253L/min
製造年 1999年

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