1991年製 芝浦製作所製 CFS-12P-100
【オーバーホール前】
装置本体
チャンバー内部
制御盤
【オーバーホール後】
装置本体・制御盤
チャンバー内部
再利用真空機器
（中古真空装置・機器）
取扱商品
- 電流導入端子
- マグネトロンスパッタ源
- 真空フランジ配管部品
- CFフランジ(コンフラットフランジ)
- CF変換フランジ
- JISフランジ
- KFフランジ(NWフランジ)
- KFフランジ配管部品
- KFフランジ用部品
- ISOクランプ型フランジ
(クロー金具用) - ISO-Fフランジ(ボルト固定用)
- 超高真空窓
- 高圧導入端子
- マスフローコントローラー
- 漏水検知器
- 流量センサー