カセットチャンバー式スパッタ装置
メーカー：キヤノンアネルバ 型式：E-402S
年式：2008年
スパッタアップ 基板：φ4インチ用基板トレイ1枚
最大カセット数：10枚 電源：RF
ポンプ：TMP（1100L/min） ドライポンプ（スクロールタイプ）
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2017.05.30