真空蒸着装置
メーカー：シンクロン 型式：BES-1300DN
年式：2006年
電子銃：10kW 32点ハース
光学式膜厚モニタ：OPM-Z1
ポンプ：DP22インチ×2台 MBP+RP
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2017.04.04