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ロードロック付平行平板型スパッタ装置
メーカー：キヤノンアネルバ
型式：E-800S
年式：2010年
ターゲット：φ8インチ×2 φ6インチ×2
SP室：W1172×D1060×H511mm
LL室：W1000×D1060×H556mm
電源（切替）：RF5kW（正側・パルス機能付） 600W（逆側）
DC電源6kW DCパルス
排気系：ターボ 3000L/sec ドライ 1660L/min
5段大気ストッカー装備
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2013.11.29