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MOCVD装置
1）メーカー：AIXTRON 型式：AIX200/4 製造年：2002年
走査型電子顕微鏡（SEM）
2）メーカー：日本電子 型式：JSM - 6600F（FE - SEM）製造年：1997年
試料：8インチまで------------------------------------------------------------------------------------------------------------
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2013.05.09.2512