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最少制御流量フルスケールの2％
応答速度 設定値の±2%に6秒以内
流量制御範囲 4.0〜200sccm
| リストNO | 8843 |
|---|---|
| 品名 型式 |
マスフロー FC-260E |
| メーカー | アエラ |
| 仕様1 | CF4 200sccm |
| 備考 | 未使用品 接続部 1/4”スウェージ |
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