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最少制御流量フルスケールの2％
精度 ±1%F.S.
使用周囲温度 15〜50℃
| リストNO | 80139 |
|---|---|
| 品名 型式 |
マスフロー MC-3102L-NC-4SWLAA0A0 |
| メーカー | リンテック |
| 仕様1 | O2 5sccm |
| 備考 | 表示計 RP300付 |
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