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使用真空領域 大気圧〜10-8Pa程度
許容加熱温度 バルブ開時 200℃
バルブ閉時 125℃
作動空圧 0.3〜0.5MPa
| リストNO | 7844 |
|---|---|
| 品名 型式 |
L型バルブ 951-7466 |
| メーカー | キヤノンアネルバ |
| フランジ径 | CF203 |
| 材質 | SUS |
| 備考 | 3台有 |
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真空バルブ:再利用真空機器
完全オーバーホールを実施して性能確認した中古真空機器・装置の販売・メンテナンス及びレンタル。取扱商品はスパッタ装置・真空蒸着装置をはじめとして、Heリークディテクタ等の計測器や電源・電子銃・真空計・ポンプ等の単品も販売しています。