【標準スキャナ捜査範囲】
X、Y 0〜20μm(分解能16bitx3DAC)21bit相当
Z 0〜3μm (分解能22 bit)
2005年製
本体:680x710x1320hmm 250kg
制御ユニット:900x800x730hmm 140kg
エアコンプレッサー:φ290x530hmm 17kg
リストNO | 1824 |
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品名 型式 |
走査型プローブ顕微鏡 JSPM-5400B |
メーカー | 日本電子 |
仕様1 | 分解能:面内0.1nm 垂直0.01nm |
仕様2 | 試料サイズ:50mmx50mmx5tmm(最大) 10mmx10mmx3tmm(標準) |
仕様3 | |
仕様4 | |
製造年 | 2005年 |
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