ドラム式スパッタ装置 SV-4540-C12

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詳細情報

冷却水：
・本機　水圧0.2MPa　流量18L/min　背圧0.05MPa以下
　水温20〜25℃　比抵抗5KΩcm以上
・カソード　水圧0.2MPa　流量29L/min　背圧0.05MPa以下
　水温20〜25℃　比抵抗5KΩcm以上
圧空：0.5〜0.7kMPa（ゲージ圧）
ガス：Ar N2
電力：AC200V、3φ、約35kVA

商品情報

リストNO 1819
品名
型式		 ドラム式スパッタ装置
SV-4540-C12
メーカー アルバック
仕様1 スパッタ室 φ630×640hmm
仕様2
5”×18”プレーナマグネトロン
サイドスパッタ方式
仕様3 RF 3KW 真空計付
仕様4 CP12” MBP RP
製造年 2001年

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