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寸法 本体 W740×D1670×1642hmm
基板直線搬送機構 855mm
| リストNO | 1818 |
|---|---|
| 品名 型式 |
ロードロックスパッタ装置 SDL3320 |
| メーカー | 神港精機 |
| 仕様1 | SP室 SUSチャンバー φ350×300hmm LL室 SUSチャンバー W320×D400×200hmm |
| 仕様2 | ターゲットφ75mm 3基 |
| 仕様3 | DC3kW 基板加熱 300℃ |
| 仕様4 | ターボ 280L/s SP 500L/min |
| 製造年 | 2001年 |
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