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所要冷却水：2kg/cm2 10ℓ/min
所要空圧：5kg/cm2G
電気：AC200V 3φ 11kVA
第A種アース
外形寸法：
本体 約W1200×D700×1770Hmm
| リストNO | 1816 |
|---|---|
| 品名 型式 |
真空蒸着装置 EBX-6D |
| メーカー | アルバック |
| 仕様1 | SUSチャンバーΦ500×600hmm |
| 仕様2 | 前扉式 抵抗加熱 3点 |
| 仕様3 | 真空計 公転冶具付 |
| 仕様4 | DP 6” RP 600L/min |
| 製造年 | 1985年 |
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