真空蒸着装置 ACE-1150DSN

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詳細情報

イオン銃 NIS-150
基板回転治具 φ950mm
基板加熱   推奨使用温度250度(MAX350度)
ガス系統 O2 Ar

据付面積 W4900×D6700×3095hmm(天井高3400mm以上)
総重量  約7200kg
装置本体  4900kg
制御盤   600kg
電子銃電源 360kg
マイナスチラー 650kg
あら引きポンプ 690kg

商品情報

リストNO 1795
品名
型式
真空蒸着装置
ACE-1150DSN
メーカー シンクロン
仕様1 チャンバー内寸
約1100W×約1000D×約1200hmm
仕様2
EB φ40×15mm 30点式×2 EB電源 10kW 
仕様3 光学式膜厚計 OPM-8
基板加熱 MAX350℃(250℃基準)
仕様4 DP 20”2台 メカブ 600m3/h ドライポンプ 2400L/m

製造年 2005年

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