SEM 用試料作成から電極膜・反射膜生成用途まで，ワイドレンジに対応した1台です。

●基本仕様
スパッタリング方式 DC/AC スパッタリング
エッチング方式 逆スパッタリングによるDC/AC エッチング
カソード φ8 インチ/ 2極対向電極
スパッタリング電流 0〜50mA(電流計付属)
スパッタリング電圧 1KV 50mA
タイマー 組込 0 〜15min/連続
ガス調節機構 ニードルバルブ
排気系 直結型ロータリーポンプ:100l/min(自動リーク付)
排気操作 半自動
チャンバーサイズ φ240mm×D240mm(SUS 製)
試料交換方法 前面ドア開閉式
試料サイズ Max.φ8 インチ
安全機構 過電流防止回路/高圧電源安全回路組込
寸法 (W/D/H) 本体:282/450/440mm
RP:460/175/265mm
重量 本体:約20kg
RP:22kg
設置条件 所要電源:単相100V 10A 50/60Hz
使用温度範囲 25 ℃±5 ℃