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ガス導入 Ar O2
基板ドーム自公転
公転回転数 30rpm
電力：3相 200V 約70kVA
A種接地
冷却水：0.2〜0.3MPa
約40L/min（水温20〜25℃）
圧空：0.5〜0.8MPa
注意：光学式膜厚計は付属しておりません。
| リストNO | 1775  |
|---|---|
| 品名 型式 |
真空蒸着装置 BMC-900T |
| メーカー | シンクロン |
| 仕様1 | チャンバーΦ900×1240hmm |
| 仕様2 | EB 24点式 10KW EB電源 抵抗加熱10kVA 真空計 |
| 仕様3 | 基板加熱MAX350℃ 常用300℃ イオンガン φ120mm |
| 仕様4 | DP 18”(2) MBP ドライポンプ |
| 製造年 | 1998年 |
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