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最大出力の40％までの反射電力を許容
すぐれた変換効率(80％〜85％)
・パルスモード
| リストNO | 1770 |
|---|---|
| 品名 型式 |
高周波電源 CESAR1320 |
| メーカー | AE |
| 仕様1 | 13.56MHz 2kW |
| 仕様2 | 外形寸法 W482×D550×133hmm |
| 仕様3 | 整合器無し |
| 仕様4 | 水冷 |
| 製造年 | 2005年 |
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装置:再利用真空機器
完全オーバーホールを実施して性能確認した中古真空機器・装置の販売・メンテナンス及びレンタル。取扱商品はスパッタ装置・真空蒸着装置をはじめとして、Heリークディテクタ等の計測器や電源・電子銃・真空計・ポンプ等の単品も販売しています。