自動整合器 TAT-11

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詳細情報

コントローラー付

整合器は高周波電源と組み合わせて、高周波スパッタリング装置、プラズマCVD装置、エッチング装置等の励起用電源システムとして使用されます。
整合回路無くして負荷に有効な電力を供給出来ません。

商品情報

リストNO 1760
品名
型式
自動整合器
TAT-11
メーカー トッキ
仕様1 13.56MHz 1.5KW
仕様2
自動タイプ
仕様3 冷却方式 水冷
仕様4 2台有
製造年 1999年

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