コントローラー付
整合器は高周波電源と組み合わせて、高周波スパッタリング装置、プラズマCVD装置、エッチング装置等の励起用電源システムとして使用されます。
整合回路無くして負荷に有効な電力を供給出来ません。
リストNO | 1760 |
---|---|
品名 型式 |
自動整合器 TAT-11 |
メーカー | トッキ |
仕様1 | 13.56MHz 1.5KW |
仕様2 | 自動タイプ |
仕様3 | 冷却方式 水冷 |
仕様4 | |
製造年 | 1999年 |
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完全オーバーホールを実施して性能確認した中古真空機器・装置の販売・メンテナンス及びレンタル。取扱商品はスパッタ装置・真空蒸着装置をはじめとして、Heリークディテクタ等の計測器や電源・電子銃・真空計・ポンプ等の単品も販売しています。
コントローラー付
整合器は高周波電源と組み合わせて、高周波スパッタリング装置、プラズマCVD装置、エッチング装置等の励起用電源システムとして使用されます。
整合回路無くして負荷に有効な電力を供給出来ません。
リストNO | 1760 |
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品名 型式 |
自動整合器 TAT-11 |
メーカー | トッキ |
仕様1 | 13.56MHz 1.5KW |
仕様2 | 自動タイプ |
仕様3 | 冷却方式 水冷 |
仕様4 | |
製造年 | 1999年 |
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