
冷却水:
装置本体 2kg/cm2 5ℓ/min 25℃以下
電極 2kg/cm2 10ℓ/min 25℃以下
圧空:5〜8kg/cm2
電力:
装置本体 3Φ 200V 60A
RF電源 3Φ 200V 40A
ガス:Ar O2 N2
操作系タッチパネル。
リストNO | 1754 |
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品名 型式 |
スパッタ装置 SPC-530H |
メーカー | キヤノンアネルバ |
仕様1 | スパッタ室560W×560D×620hmm |
仕様2 | 5”×15”カルーセル型 3基 |
仕様3 | RF 3KW 真空計付 |
仕様4 | CP 4000L/s RP 1000L/min |
製造年 | 1980年 |
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