ドライエッチング装置 RIB-310

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詳細情報

電子サイクロトロン共鳴(ECR)型イオン源を用いて成膜を行う装置です。
ロードロック機構付
基板　1枚
サイズ　2”、3”、100mm、125mmウエハー
電力 AC200V 70A 3相、第3種アース
冷却水 10L/min PT1/2
空圧　4.5〜5.5kg/cm2 PT1/2
N2ガス(大気圧置換用) 1/4”スエジロック
ガスライン　　　　　 1/4”スエジロック

商品情報

リストNO 1746
品名
型式		 ドライエッチング装置
RIB-310
メーカー キヤノンアネルバ
仕様1 ロードロック型 ECRイオン源
仕様2
プラズマ径 Φ50mm 試料 Φ50mm
仕様3 マイクロ波 2450MHz 600W
仕様4 DP 10” RP 1100L/min 300L/min
製造年 1984年

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