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寸法 本 体：W2251×D820×1942hmm
操作盤：W570×D1010×1845hmm
電 源：W560×D705×1791hmm
重量 本 体：約900kg
操作盤：約200kg
電 源：約100kg
クライオコンプレッサー：約100kg
RP：約60kg
電 力：200V3相 100A
接 地：D種（第3種）
冷却水：装置本体6L/min ターゲット3L/min クライオコンプレッサー3L/min
圧縮空気：1系統
プロセスガス：3系統
備考：
逆スパッタ方式
本装置は簡易ロードロックチャンバー付き平行平板型スパッタ装置です。
回転成膜を前提に設計され50層まで自動成膜が可能です。
| リストNO | 1705 |
|---|---|
| 品名 型式 |
ロードロックスパッタ装置 L-430S-FHL |
| メーカー | キヤノンアネルバ |
| 仕様1 | SUSチャンバー W1020×D480×180hmm |
| 仕様2 | ターゲットΦ4” 3基 |
| 仕様3 | RF600W 基板加熱 300℃ |
| 仕様4 | クライオ 1600L/s RP 500L/min |
| 製造年 | 1998年 |
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