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寸法：1550W×860D×1500hmm
重量：装置本体 850kg
DC電源 300kg
制御盤 300kg
CPコンプレッサー 200kg
| リストNO | 1696 |
|---|---|
| 品名 型式 |
ロードロックスパッタ装置 SPF-420H・L |
| メーカー | キヤノンアネルバ |
| 仕様1 | ターゲットΦ6” 2基 |
| 仕様2 | 基板加熱 150℃・200℃ |
| 仕様3 | DC4.5kW RF1.5kW 逆スパッタ付 |
| 仕様4 | クライオ8”×2台 RP 610L/min |
| 製造年 | 1985年 |
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