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ガス導入系：Ar.O2.N2
設置面積（本体）：1510W×1250D×1800Hmm
冷却水：26ℓ/min
圧空：4.5kg/cm2G以上
| リストNO | 1693 |
|---|---|
| 品名 型式 |
スパッタ装置 SBH-2206RDE |
| メーカー | アルバック |
| 仕様1 | スパッタ室 Φ600×300hmm |
| 仕様2 | マグネトロンΦ6”×2基 |
| 仕様3 | RF 2kW DC 3kW 真空計付 基板加熱有 |
| 仕様4 | DP 10”RP 900L/min |
| 製造年 | 1986年 |
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