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冷却水：2kg/cm2 10ℓ/min 25℃以下
圧空：5〜7kg/cm2
ガス：Ar 30scc/min
設置面積：1100W×700D×1700H
操作系タッチパネルに改造済。
空き部分化粧板取付け。
| リストNO | 1591 |
|---|---|
| 品名 型式 |
スパッタ装置 SPF-410H |
| メーカー | キヤノンアネルバ |
| 仕様1 | スパッタ室 Φ400×140hmm |
| 仕様2 | マグネトロン12”1基 |
| 仕様3 | RF 5KW 真空計付 基板加熱有 |
| 仕様4 | DP 6”RP 600L/min |
| 製造年 | 1980年 |
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