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| リストNO | 1555  |
|---|---|
| 品名 型式 |
ドライエッチング装置 OMPM-306B |
| メーカー | 東京応化 |
| 仕様1 | 平行平板 φ230電極 |
| 仕様2 | RF 300W 2台 |
| 仕様3 | ガス O2、CF4、SF6、C2Cl2F4 |
| 仕様4 | ターボ 4” RP 650L/min |
| 製造年 | 1990年 |
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装置:再利用真空機器
完全オーバーホールを実施して性能確認した中古真空機器・装置の販売・メンテナンス及びレンタル。取扱商品はスパッタ装置・真空蒸着装置をはじめとして、Heリークディテクタ等の計測器や電源・電子銃・真空計・ポンプ等の単品も販売しています。