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基板サイズ □3” 12枚/バッチから□10”
1枚/バッチまで対応。
電力 200V 50A 3相 第3種アース
冷却水 10L/min 1.5〜3kgf/cm3 15〜25℃
給排水口 PT1/2
空圧 4.5〜5kg/cm2 PT1/2
乾燥窒素 1.5〜2kg/cm2 PT1/2
ガス 1/4スエジロック
外形寸法
装置本体 W1500×D950×1680hmm 850kg
高周波電源 W 570×D570×1055hmm 110kg
排気系 W1000×D650×1000hmm 360kg
| リストNO | 1423 |
|---|---|
| 品名 型式 |
ドライエッチング装置 DEA-503 |
| メーカー | キヤノンアネルバ |
| 仕様1 | SUSチャンバー Φ600×220hmm |
| 仕様2 | 平行平板型 RF 1KW |
| 仕様3 | 電極Φ470 1基 DP 10” |
| 仕様4 | メカブ 100m3/h RP 1300L/min |
| 製造年 | 1986年 |
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