ドライエッチング装置 DEA-503

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詳細情報

基板サイズ □3” 12枚/バッチから□10”
1枚/バッチまで対応。
電力 200V 50A 3相 第3種アース
冷却水 10L/min 1.5〜3kgf/cm3 15〜25℃
    給排水口 PT1/2
空圧 4.5〜5kg/cm2 PT1/2
乾燥窒素 1.5〜2kg/cm2 PT1/2
ガス 1/4スエジロック
外形寸法
装置本体  W1500×D950×1680hmm 850kg
高周波電源 W 570×D570×1055hmm 110kg
排気系 W1000×D650×1000hmm 360kg

商品情報

リストNO 1423
品名
型式
ドライエッチング装置
DEA-503
メーカー キヤノンアネルバ
仕様1 SUSチャンバー Φ600×220hmm
仕様2
平行平板型 RF 1KW
仕様3 電極Φ470 1基 DP 10”
仕様4 メカブ 100m3/h RP 1300L/min
製造年 1986年

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