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メーカー 概略仕様 製造年 価格
1165
電子銃

EGL-35
アルバック 270°偏向型 1点式 10KW
ルツボ 1個 40cc
Φ50×Φ41×深25mm
適用電源 : HP-1010F,HP-1610F
1982年   ******  
1172
電子銃

EGL-20M
アルバック 270°偏向型 4点式 6KW
ルツボ 4個 20cc
Φ50×Φ46×深12mm
適用電源 : HP-1010F
1982年   ******  
1173
電子銃

EGL-20M
アルバック 270°偏向型 4点式 6KW
ルツボ 4個 20cc
Φ50×Φ46×深12mm
適用電源 : HP-1010F
1982年   ******  
1292
チャンバー付真空排気装置

CME90
トッキ SUS チャンバーΦ900×900hmm
前扉式
クライオ 22”メカブ 600m3/h
RP 1800L/min
1992年   ******  
1349
スパッタ装置

FTS-LAB101
大阪真空 スパッタ室 175×240×300hmm
対向式 スパッタ電極 Φ80 1対
RF 1KW 基板加熱 700℃
ターボ 200L/S RP 360L/min
1991年   ******  
1359
ベルジャー付真空排気装置

EBS-10A
アルバック SSベルジャーΦ650×650hmm
カラーΦ450×150hmm
空圧排気型
DP 10” RP 650L/min
1974年   ******  
1423
ドライエッチング装置

DEA-503
キヤノンアネルバ SUSチャンバー Φ600×220hmm
平行平板型 RF 1KW
電極Φ470 1基 DP 10”
メカブ 100m3/h RP 1300L/min
1986年   ******  
1431
インライン式スパッタ装置

SPH-3022
昭和真空 ターゲット 5”×7” 4基 縦型両面可
トレイ 300L×150hmm ローダー20枚
DC 2KW 2台 加熱 150℃
クライオ 6” 2台 8”1台 RP 650L/min 3台
1992年   ******  
1448
ベルジャー付真空排気装置

EVD-500A
キヤノンアネルバ SUSベルジャーΦ500×750hmm φ90窓2個
カラーΦ500×130hmm CF70ポート15個
排気自動
DP 8” RP 650L/min
1984年   ******  
1451
高周波電源

RF2000
パール工業 13.56MHz 2KW
外形寸法 535×770×760hmm
手動整合器付
入力 200V 3相
1985年   ******  
1464
イオンプレーティング装置

SIP-800
昭和真空 SUSベルジャーΦ800×1100Lmm
横型 前扉式
EB 10KW 3点
クライオ 20” メカブ 600m3/h RP 1500L/min
1987年   ******  
1498
電子銃

EGL-35M
アルバック 270°偏向型 4点式 10KW
ルツボ 4個 40cc ×2 10cc ×2
X軸、Y軸偏向可能
適用電源 :HP-1010F,HP-1610F
1989年   ******  

1523

イオンプレーティング装置

EBX-10DIP
アルバック SUSチャンバーΦ650×800hmm
前扉式 EB 10KW 4点式 1台、抵抗 2基
公転冶具、DC 2KV、RF 500W
DP 10” RP 950L/min
1982年   ******  

1534

高電圧電源

SR100P5
スペルマン 電圧 DC +100KV 電流 50mA
入力 200V 3相
正極性
外形寸法 482×482×266hmm
1985年   ******  

1540

電子銃

EGK-3
アルバック 225°偏向型 1点式 5KW
ルツボ 1個 2.6cc
Φ21×Φ15.6×深10mm
適用電源 : HP-510C
1986年   ******  

1555

ドライエッチング装置

OMPM-306B
東京応化 平行平板 φ230電極
RF 300W 2台
ガス O2、CF4、SF6、C2Cl2F4
ターボ 4” RP 650L/min
1990年   ******  
1574
電子銃

EBG-102F6RAC
日本電子 180°偏向型 3KW
フィラメント自動交換機構付き
るつぼ別
適用電源 :JST-10F、JST-16F
1989年   ******  
1584
プラズマ銃電源

EPC-3000
日本電子 制御方式:手動・半自動・外部制御切替
半自動・外部制御時はシーケンサ制御
制御機器:カソード加熱電源・コイル電源
放電電源・マスフローコントローラ
2000年   ******  
1591
スパッタ装置

SPF-410H
キヤノンアネルバ スパッタ室 Φ400×140hmm
マグネトロン12”1基 
RF 5KW 真空計付 基板加熱有
DP 6”RP 600L/min
1980年   ******  

1602

高周波電源

PLASMALOC2-HF
ENI 100kHz〜450kHz 1.4kW
RFコネクター Type C
入力 115V ±8% 35amps max.
外形寸法 W432×D650×445hmm 重量 87kg
1995年   ******  

1619

真空蒸着装置

EBX-10C
アルバック SUSチャンバーΦ650×800hmm
前扉式 抵抗加熱 3基
真空計 膜厚計 公転冶具付
クライオ 10” RP 950L/min
1982年   ******  
1651
電子銃用電源

JST-10F
日本電子 高電圧 DC -4kV〜-10kV 0〜1A
最大出力 10KW
X・Y軸スイープ付
外形寸法 W570×D760×1545hmm
2003年   ******  
1655
高周波電源

AX1000LFII
ADTEC 430kHz 1KW 強制空冷
外形寸法 430W×445D×220hmm
整合器トランス付
入力 200V 3相
2002年   ******  
1660
自動整合器

DMK-18
京三製作所 27.12MHz 1.8kW
自動タイプ
冷却方式 水冷
2台有
2000年   ******  
1663
自動整合器

MBK75
京三製作所 13.56MHz 7.5kW
自動タイプ
水冷
コントローラー MAK5A
1999年   ******  
1669
2ポイントコントローラー

ST-2PNS
日本電子 JST-F EB電源用
外形寸法 480×350×50hmm
電子ビーム照射量の比 100:1〜1:100
1998年   ******  
1671
電子銃

980-7310
キヤノンアネルバ 1点式 10KW 2台有
ルツボ 10ml φ34×φ18×深18mm
スキャンニング範囲X:±15mm Y:±8mm
EGP-210RS等
1996年   ******  
1681
高周波電源

AX1000II
ADTEC 13.56MHz 1KW 空冷
外形寸法 430W×536D×220hmm
整合器別
入力 200V 3相
1996年   ******  
1689
プラズマCVD装置

PED-301
キヤノンアネルバ 反応室 Φ300×200hmm
基板ホルダー:外径φ210mm 
電極:Φ208mm 電極間隔:15〜50mm可変
使用ガス:SiH4(100sccm)・NH3(100sccm)・N2(300sccm)・H2(300sccm)・N2O(300sccm)
1991年   ******  
1693
スパッタ装置

SBH-2206RDE
アルバック スパッタ室 Φ600×300hmm
マグネトロンΦ6”×2基 
RF 2kW DC 3kW 真空計付 基板加熱有
DP 10”RP 900L/min
1986年   ******  
1694
自動整合器

DMK45
京三製作所 27.12MHz 4.5KW
自動タイプ
冷却方式 水冷
2000年   ******  
1696
ロードロックスパッタ装置

SPF-420H・L
キヤノンアネルバ ターゲットΦ6” 2基
基板加熱 150℃・200℃
DC4.5kW RF1.5kW 逆スパッタ付
クライオ8”×2台 RP 610L/min 
1985年   ******  
1699
ロードロック付ドライエッチング装置

L-210D-L
キヤノンアネルバ SUSチャンバー Φ200×160hmm
エッチング電極 φ120mm RF 500W
ターボ 200L/s 50L/s
RP 280L/min 90L/min
1993年   ******  
1705
ロードロックスパッタ装置

L-430S-FHL
キヤノンアネルバ SUSチャンバー W1020×D480×180hmm
ターゲットΦ4” 3基
RF600W 基板加熱 300℃
クライオ 1600L/s RP 500L/min  
1998年   ******  
1707
ドライエッチング装置

CSE-1110
アルバック SUSチャンバー Φ450×200hmm
RIE、エッチングアップ方式
電極Φ250 1基 RF電源 500W
DP6” メカブ 100m3/h RP 300L/min 650L/min
1985年   ******  

1711

真空蒸着装置

SBC-08C
昭和真空 SUSチャンバーΦ450×500hmm
前扉式 EB 5KW 4点
真空計付、膜厚計付
クライオ 8” RP 500/600L/min
1996年   ******  
1712
Heリークディテクタ

HELEN A250M-LD
キヤノンアネルバ 電子デバイス用
最小可変リーク量 2×10-11Pa.m3/s以下
排気系 ターボ RP
重量 約165kg
1998年   ******  

1714

真空蒸着装置

SEC-08C
昭和真空 SUSチャンバーΦ500×600hmm
前扉式 EB 10KW 4点 EB電源
公転ドーム、真空計付、膜厚計付
クライオ 8” RP 500/600L/min
2000年   ******  
1720
高周波電源

RP1000C
パール工業 13.56MHz 1000W
外形寸法 W480×D656×200hmm
自動整合器付
入力 200V 1相
1996年   ******  
1725
スパッタ装置

SPP-410H
キヤノンアネルバ スパッタ室 Φ400×140hmm
マグネトロン6”1基 
RF 3KW 基板加熱有 基板自公転冶具(2” 8枚×3基)
DP 6”RP 600L/min
1980年   ******  

1732

高周波電源

AX-1000III
ADTEC 13.56MHz 1KW 空冷
外形寸法 430W×500D×131.5hmm
整合器別
入力 200V 3相
2014年   ******  
1738
スパッタ装置

SH-350
アルバック スパッタ室 Φ500×250hmm
マグネトロンΦ4”×3基 逆スパッタ付
RF 1000W 真空計付 基板回転有
DP 6” RP 618L/min
1988年   ******  
1740
Heリークディテクタ

HELIOT301
アルバック 標準タイプ サンプル容量3L以下
感度 10-12〜10-4Pa.m3/s
排気系 ターボ RP
重量 約39kg
1997年   ******  

1741

Heリークディテクタ

HELEN A-220M-LD
キヤノンアネルバ テストポート KF25
最小可変リーク量 10-12Pa.m3/s
排気系 ターボ RP
重量 75kg
2000年   ******  
1745
高周波電源

RP200
パール工業 13.56MHz 200W
外形寸法 W480×D455×149hmm 重量 28kg
自動整合器付
入力 200V 1相
1990年   ******  
1746
ドライエッチング装置

RIB-310
キヤノンアネルバ ロードロック型 ECRイオン源
プラズマ径 Φ50mm 試料 Φ50mm
マイクロ波 2450MHz 600W
DP 10” RP 1100L/min 300L/min
1984年   ******  

1750

電子銃用電源

HPS-510S
アルバック 加速電圧 DC -4kV〜-10kV
最大出力 5KW
XY軸スイープ付
外形寸法 W480×D620×300hmm
2005年   ******  
1752
スパッタ装置

SPF-530H
キヤノンアネルバ スパッタ室 W1200×D580×250hmm
(基板ホルダーφ410mm)
マグネトロンΦ6”×3基 
RF 1200W×3台 真空計付
基板加熱有
クライオ 4000L/s RP 1180L/min
1996年   ******  

1753

パルスDC電源

RPG-50
ENI スパッタ用 50〜250kHz 5kW
バイポーラパルスDC
電源本体 W480×D631×132.5hmm
ケーブル別
2003年   ******  
1754
スパッタ装置

SPC-530H
キヤノンアネルバ スパッタ室560W×560D×620hmm
5”×15”カルーセル型 3基
RF 3KW 真空計付
CP 4000L/s RP 1000L/min
1980年   ******  
1755
スパッタ装置

SPF-730H
キヤノンアネルバ スパッタ室 W1200×D580×250hmm
マグネトロンΦ8”×3基 
RF 1200W×3台 真空計付
基板加熱有
DP 3700L/sec RP 1100L/min
1986年   ******  

1756

真空排気セット

吸気接続フランジ:100A
油拡散ポンプ 4インチ 570L/sec
油回転真空ポンプ 200L/min
外形寸法:W530×D480×780hmm
重量:65kg
所要水量:2L/min
0年   ******  

1758

高周波電源

JRF-1500
日本電子 13.56MHz 1.5kW
外形寸法 W440×D410×170hmm
整合器無
入力 200V 3相
1999年   ******  
1759
高周波電源

OEM-1250
ENI 13.56MHz 1.25kW
外形寸法 430×400×200hmm
整合器無し
入力 200V 1相
1999年   ******  
1760
自動整合器

TAT-11
トッキ 13.56MHz 1.5KW
自動タイプ
冷却方式 水冷
1999年   ******  
1764
高周波電源

OEM-1250
ENI 13.56MHz 1.25kW
外形寸法 430×400×200hmm
整合器無し
入力 200V 1相
2000年   ******  
1765
高周波電源

AX1000AMII
ADTEC 13.56MHz 1KW 空冷
外形寸法 430W×536D×220hmm
整合器別
入力 200V 3相
1995年   ******  
1767
スイープコントローラ

EGP-212S
キヤノンアネルバ コイル電源出力 AC
X 2Ap-p周波数:50〜100Hz Y 2Ap-p 周波数:5〜10Hz
外形寸法 W265×D549×149hmm
入力 AC200V 1相 
2004年   ******  

1768

高周波電源

JEH005TS
日本電子 13.56MHz 500W
外形寸法 480W×500D×200hmm
自動整合器付
入力 200V 1相
1998年   ******  
1769
電子銃用電源

JST-3F
日本電子 高電圧 DC -4〜-8kV
最大出力 6.4KW
X・Y軸スイープ付
外形寸法 570W×760D×1545hmm
1998年   ******  
1770
高周波電源

CESAR1320
AE 13.56MHz 2kW
外形寸法 W482×D550×133hmm
整合器無し
水冷
2005年   ******  
1771
高周波電源

AX1000
ADTEC 13.56MHz 1KW 空冷
外形寸法 430W×536D×220hmm
整合器別
入力 200V 3相
1994年   ******  
1772
スパッタ装置

SPC-530H
キヤノンアネルバ スパッタ室 560W×560D×620hmm
5”×15”カルーセル型 2基
RF 3KW 真空計付
CP 4000L/s RP 1000L/min
1982年   ******  
1773
スパッタ装置

SPC-530H
キヤノンアネルバ スパッタ室 560W×560D×620hmm
5”×15”カルーセル型 3基
DC 3KW 真空計付
CP 4000L/s RP 1000L/min
1981年   ******  

1775

真空蒸着装置

BMC-900T
シンクロン チャンバーΦ900×1240hmm
EB 24点式 10KW EB電源 
抵抗加熱10kVA 真空計
基板加熱MAX350℃ 常用300℃
イオンガン φ120mm
DP 18”(2) MBP ドライポンプ
1998年   ******  
1776
スパッタ装置

SPF-312H
キヤノンアネルバ スパッタ室 Φ350×250hmm
マグネトロンΦ6”×1基
RF 500W 真空計付 基板加熱有
DP 4”RP 260L/min
1991年   ******  

1779

スパッタ装置

SC-708
サンユー電子 スパッタ室Φ240×D240mm
電極 Φ8” 1基
電源 DC/AC 1KV 0〜50mA
ニードルバルブ付 RP 100L/min
2001年   ******  
1780
電子銃用電源

EGP-230
キヤノンアネルバ 最大出力:3KW
出力電圧:DC 0〜5kV
出力電流(エミッション):0〜600mA
フィラメント出力:AC8V/6V×35A(内部コネクタにて切換)
1994年   ******  
1781
スイープコントローラ

EGP-212S
キヤノンアネルバ コイル電源出力 AC 4台有
X 2Ap-p周波数:50〜100Hz Y 2Ap-p 周波数:5〜10Hz
外形寸法 240(190)W×550D×150hmm
入力 AC200V 1相 
1994年   ******  
1782
電子銃用電源

JST-16F
日本電子 DC-4〜-10kV
0〜1.6A
最大出力 16KW
外形寸法 570W×760D×1545hmm
2015年   ******  

1783

高周波電源

RFS-1305A
アルバック 13.56MHz 500W 空冷
外形寸法 430W×450D×149hmm
自動整合器付
入力 200V 3相
2008年   ******  
1784
高周波電源

TX10-0090
ADTEC 13.56MHz 1KW 空冷
外形寸法 215W×498D×145hmm
自動整合器付
入力 200V 3相
2015年   ******  
1785
高周波電源

TX03-0090
ADTEC 13.56MHz 300W 空冷
外形寸法 215W×498D×145hmm
自動整合器付
入力 200V 3相
2015年   ******  
1787
真空蒸着装置

EBH-6
アルバック SSベルジャー Φ450×450hmm
抵抗3基 100A
DP 6” RP 330L/min
装置寸法 W1130×D850×2450hmm
1972年   ******  
1788
スパッタ装置

SH-350E
アルバック スパッタ室 Φ500×220hmm
マグネトロンΦ4”×3基 デポアップ 逆スパッタ付
DC 2kW RF 0.5kW
真空計付 基板回転 基板加熱300℃
CP 6” RP 309/253L/min
1999年   ******  
1789
ランプ加熱装置

VHC-P610/7085
真空理工(アドバンス理工) 熱処理ゾーンφ50×100hmm max 1300℃
均熱ゾーンφ40×80hmm
100℃から1000℃ RP 150L/min
温度コントローラー
1987年   ******  
1790
高周波電源

RFK-30ZC
京三製作所 13.56MHz 3KW 水冷
外形寸法 480W×600D×199hmm
自動整合器付
入力 200V 3相 3台有
2000年   ******  

1791

高周波電源

JRF-3000
日本電子 13.56MHz 3kW
外形寸法 W440×D410×170hmm
自動整合器付
入力 200V 3相
1997年   ******  
1792
電子銃用電源

JST-10F
日本電子 高電圧 DC -4kV〜-10kV 0〜1A
最大出力 10KW
X・Y軸スイープ付
外形寸法 W570×D760×1545hmm
1998年   ******  
1793
電子銃

JEBG-102RH4G1
日本電子 180° 10kW
Φ61×15mmh EBG-10DR4 回転ルツボ 
適用電源 :JST-3F、JST-10F、JST-16F
2台有
1998年   ******  
1794
電子銃

JEBG-102UH0
日本電子 180° 10kW
ハース ループタイプ

適用電源 :JST-3F、JST-10F、JST-16F
1998年   ******  
1795
真空蒸着装置

ACE-1150DSN
シンクロン チャンバー内寸
約1100W×約1000D×約1200hmm
EB φ40×15mm 30点式×2 EB電源 10kW 
光学式膜厚計 OPM-8
基板加熱 MAX350℃(250℃基準)
DP 20”2台 メカブ 600m3/h ドライポンプ 2400L/m

2005年   ******  

1796

真空蒸着装置

LDCU-36PV-120
芝浦 チャンバー1200D×1240W×1480hmm 
蒸発源 抵抗加熱式フィラメント
蒸発電源 10V 1500A 15kVA
DP 36” MB 40000L/min RP 7500L/min台
1974年   ******  
1797
真空排気セット

ST350(特)
大阪真空 ターボ分子ポンプ TH350
油回転ポンプ 310/260L/min
外形寸法:400W×650D×(540hmm+205hmm)

1994年   ******  

1799

真空蒸着装置

VPC-260
アルバック機工 ガラスベルジャー φ300×300hmm 
DP 250L/s、RP 100L/m
蒸発電極 1点式 0〜10V MAX150A
外形寸法 530×480×1135hmm
2001年   ******  
1800
リターンバック式スパッタリング装置

SPL-342V
キヤノントッキ 5”×10”×2枚 2種類
プレーナマグネトロンカソード
成膜有効範囲 W300×H130
基板加熱 MAX200℃ 常用150℃
DC電源 出力6kW 400〜1000VDC
排気系 CP+RP
2011年   ******  
1801
DC電源

MDX Pinnacle
AE 6KW デュアル出力
外形寸法 W485×D565×135hmm
入力 200V 3相
ケーブル別 2台有
2001年   ******  

1802

高周波電源

RFXII-1250
AE 13.56MHz 1250W
外形寸法 W267×D216×178hmm
整合器 TCM/AZX40
入力 200V 1相
1995年   ******  
1803
パルスDC電源

RPG-100
ENI スパッタ用 50〜250kHz 10kW
バイポーラパルスDC
入力 200V 3相
ケーブル別 2台有
1997年   ******  
1804
DC電源

MDX 5K
AE 出力 5000W
入力 380V/415V 3相
空冷
電源本体  W485×D565×175hmm
1995年   ******  
1805
電子銃

JEBG-102UH0
日本電子 180° 10kW
ルツボ24点

適用電源 :JST-3F、JST-10F、JST-16F
1998年   ******  

1806

Heリークディテクタ

HELEN M-222LD-D
キヤノンアネルバ テストポート KF25
最小可変リーク量 10-12Pa.m3/s台
排気系 ターボ スクロールポンプ
重量 75kg
2006年   ******  

1807

電子銃

BS60030DGN
日本電子 270° 10kW
XYスキャン幅/ポジション移動 最大Φ40mm(-6kVの時)
ルツボ なし
適用電源 :JST-3F、JST-10F、JST-16F
2007年   ******  
1808
真空蒸着装置

BMC-800T
シンクロン チャンバーΦ800×1100hmm(有効高さ1040mm)
EB 6点式 EB電源 JST-3F
真空計
光学式膜厚計 OPM-8
基板加熱 MAX350℃(300℃基準)
DP 18”(2台) RP
1990年   ******  

1809

Heリークディテクタ

HELIOT 701W1
アルバック 最小可変リーク量 10-13Pa.m3/s(スーパーファインリークフロー設定)
排気系 複合分子ポンプ RP
ハンディリモートコントローラ RCH7
寸法 W480×D335×505hmm 
2003年   ******  
1812
スパッタ装置

BSC-10021T
シンクロン スパッタ室 W1040×D970×H1600mm
5”×42” カルーセル型 2基
DC10kW
CP×2 MBP+RP
1998年   ******  
1813
高周波電源

RFK-30ZC
京三製作所 13.56MHz 3KW 水冷
外形寸法 480W×600D×199hmm
自動整合器付
入力 200V 3相
1999年   ******  
1814
パルスDC電源

Pinnacle plus
AE 5KW
電圧範囲 325〜800VDC、5kHz〜350kHzパルス
最大電流 15.4A
入力 200/208VAC 3相
2013年   ******  
1815
高周波電源

RF-650
東京ハイパワー 13.56MHz 0〜500W 空冷 
外形寸法 W220×D350×99hmm
出力コネクタ同軸N-R型
入力AC200V
2011年   ******  
1816
真空蒸着装置

EBX-6D
アルバック SUSチャンバーΦ500×600hmm
前扉式 抵抗加熱 3点
真空計 公転冶具付
DP 6” RP 600L/min
1985年   ******  
1817
スパッタ装置

SPC-530H
キヤノンアネルバ スパッタ室 560W×560D×620hmm
5”×15”カルーセル型 2基
RF 3KW 真空計付
CP 4000L/s RP 1000L/min
1985年   ******  
1818
ロードロックスパッタ装置

SDL3320
神港精機 SP室 SUSチャンバー φ350×300hmm
LL室 SUSチャンバー W320×D400×200hmm
ターゲットφ75mm 3基
DC3kW 基板加熱 300℃
ターボ 280L/s SP 500L/min  
2001年   ******  
1819
ドラム式スパッタ装置

SV-4540-C12
アルバック スパッタ室 φ630×640hmm
5”×18”プレーナマグネトロン
サイドスパッタ方式
RF 3KW 真空計付
CP12” MBP RP
2001年   ******  

1820

スパッタ装置

SC-701HMCII
サンユー電子 スパッタ室Φ160×D160mm(SUS)
ターゲット Φ49mm・試料台 φ70mm
電源 DC 3KV 0〜50mA
排気系 RP
2010年   ******  
1821
DC電源

HPK-10ZI
京三製作所 スパッタ用 10KW
入力 200V 3相
電源本体 W480×D600×150hmm
重量 45kg
2001年   ******  
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